精密运动控制
覆盖微米级至纳米级的定位精度
技术介绍

公司自主研发直线电机、音圈电机、伺服驱动器、运动控制卡,可覆盖微米级至纳米级的定位精度,通过自主研发配套的控制系统,能提供整套精密运动控制解决方案,满足各类自动化设备的运动控制需求。

代表产品:直线电机、音圈电机、伺服驱动器、运动控制卡和运动控制系统。

直线电机

直线电机是一种将电能直接转换成直线运动,而不需要任何中间转换机构的运动装置。它可以看作一台旋转电机按径向剖开展开而成,每种直线电机都有对应的旋转电机种类。

直线电机相较于传统回转电机具有以下技术特点:

直接传动,没有机械接触。避免了滚珠丝杠或同步带传动的误差,且除导轨外没有其他摩擦。
结构简单,体积小。省去了传动机构,使得系统本身的结构大为简化,重量和体积大大下降。
亚微米级别高精度:由于采用了亚微米级别的半导体工艺,每个控制通道尺寸最小可达10um,与精密光学系统配合,可使最终的打印尺寸和精度达到微米及亚微米级别;
理论上行程不受限制,且性能不会因为行程的增减而改变。
可以提供很宽的速度范围。从每秒几微米到每秒几米,特别是高速性能突出。
加速度很大,最大可达10 G。
精度和重复定位精度高。直线电机消除了中间环节所带来的各种定位误差,故定位精度高。
运动平稳,寿命长。直线电机可以实现无接触传动,除导轨外机械摩擦损耗几乎为零,所以故障少,寿命长。
应用领域:半导体制造装备、高速加工中心、激光加工设备、测量仪等。
音圈电机

音圈电机是一种特殊形式的直线电机(线性电机),因其结构类似于喇叭的音圈而得名。音圈电机主要具有圆柱型、平面型和摆动型三种形式,特别适合用于狭小空间内的短行程,高频高精度的闭环伺服控制。

音圈电机相较于直线电机具有以下技术特点:

结构简单体积小。
高频响应性好。
高速,高加速度。
控制方便。
零磁滞、零磁槽效应。
定位精度高,根据配置的不同可以达到纳米的定位精度。
应用领域:医疗、半导体、航空、汽车、光学镜头等。
伺服驱动器

伺服驱动器是属于伺服系统的一部分,主要应用于高精度的伺服驱动系统。一般是通过位置、速度和力矩三种方式对伺服电机进行控制,实现执行机构的高速高精度的定位。伺服驱动器是现代运动控制的重要组成部分,被广泛应用于工业机器人及数控加工中心等自动化设备中。

相较于传统的直流交流电机及步进电机系统,伺服驱动系统具有以下优势:

调速范围宽。伺服电机按型号最高转速可达3000~6000rpm。
定位精度高。由于具备编码器作半闭环控制,克服了步进电机失步的问题,伺服驱动系统的定位精度受机械结构影响,可达微米级到十微米级。
有足够的传动刚性和高的速度稳定性。
运行平稳,响应性好。伺服驱动系统低速运行平稳,低速运行时不会产生步进电机的低速爬行现象;适用于有高速响应要求的场合。
扭矩恒定,抗过载能力强。伺服驱动系统能在大范围内保持额定扭矩输出,且具有短时抗过载能力。
应用领域

公司通过自主研发精密运动控制相关产品,掌握了精密运动控制的关键技术,实现了在CTP、激光切割、3D打印、工业自动化等设备中的批量应用,大幅提升了设备的性能、可靠性和经济性,具备市场核心竞争优势。

相较于传统的直流交流电机及步进电机系统,伺服驱动系统具有以下优势:

高精度工业自动化设备
工业机器人
3D打印
激光切割
高精度工业打印
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